cmp设备 cmp设备厂商有哪些
产品中心 / 2024-05-21
CMP设备厂商有哪些? 什么是CMP设备? 化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)是一种重要的半导体制造工艺,用于平坦化晶圆表面,以便进一步的工艺步骤。CMP设备是用于执行这种工艺的设备,通常包括研磨头、研磨盘、液压系统和控制电路等组件。 CMP设备厂商有哪些? 目前,全球化学机械抛光设备市场的主要厂商包括应用材料、艾克森美孚、Lam Research、Entegris、东京毅力科创、霍尼韦尔、中微半导体、日立高科、Nanocoolers、Novel